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日本経済新聞社 経済
(2024/5/20 17:22:20)
昭和電工、液晶パネルや半導体工程で使う温暖化ガスを分解する装置の新型を開発
(2012/9/8 7:00:35)
昭和電工は、液晶パネルや半導体の加工工程で使う温暖化ガスのPFCを分解する装置の新型を開発した。処理能力を高めるとともに運転コストを削減する。2012年内に販売を始める。
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