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日経BP社
(2012/5/18 16:42:49)
東京エレクトロン、レアメタルのリサイクル技術を共同開発
(2010/11/29 7:00:00)
東京エレクトロンは、次世代半導体の微細化技術に利用するレアメタル、ルテニウムを使った材料のリサイクル技術を田中貴金属工業と開発した。新たに精製する際のCO2を低減する。
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